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氮气在电子行业的应用

工业气体在电子、半导体、光纤工业中的应用

大批量工业气体,在电子工业方向主要是氮气,在这20年内呈高速发展,如日本1980年高纯度的是用量仅6.5吨/年,而到1999年,高纯度硅的用量增加到150吨/年扩大的23倍。日本大批量气体每月需用1.58亿m3,19999年的营业额达到530亿日元。
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